可以替代现有体系，对偏振像差进行描述和理论解释。”
此话一出，就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作，转过头来看向栗亚波。
“替代琼斯矩阵？”
不止一个人脱口而出。
在传统光学系统的成像过程中，大多是将光看做标量处理，而忽略其矢量特性。
但在投影光刻物镜中，当数值孔径na不断增大时，光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。
尤其对于3g浸没液和镥铝石榴石这样na值预计会大于1.70的系统，传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。
必须使用偏振像差理论。
然而，偏振相差甚至没有一种完善的描述形式，穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。
如果能解决这个问题，无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。
张汝宁瞬间做出决断：
“先暂停手头的所有实验操作，锁定设备状态！”
“小何，注意保存好所有数据。”
“所有人，跟我上楼！”
此话一出，就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作，转过头来看向栗亚波。
“替代琼斯矩阵？”
不止一个人脱口而出。
在传统光学系统的成像过程中，大多是将光看做标量处理，而忽略其矢量特性。
但在投影光刻物镜中，当数值孔径na不断增大时，光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。
尤其对于3g浸没液和镥铝石榴石这样na值预计会大于1.70的系统，传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。
必须使用偏振像差理论。
然而，偏振相差甚至没有一种完善的描述形式，穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。
如果能解决这个问题，无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。
张汝宁瞬间做出决断：
“先暂停手头的所有实验操作，锁定设备状态！”
“小何，注意保存好所有数据。”
“所有人，跟我上楼！”