第66章：为了光刻之剑，我愿放下一切
此刻，长春光机所，一间国内等级最高的超净实验室里。[最火热书籍：清幌阁]·求~书?帮- ~追.最,歆-彰.洁!
气氛，凝重得几乎能滴出水来。
一位头发全白，戴着老花镜，年逾七旬的老人，正死死地盯着面前的一块首径约半米的，看起来平平无奇的“玻璃饼”。
他就是龙国光学界的泰斗，华夏科学院院士，吴承舟。
他身后，站着他最得意的几个学生，如今都己经是国内光学领域的中坚力量。
但此刻，有人死死攥着拳头，指节因为用力而发白；有人则摘下眼镜，用指关节用力按压着刺痛的眼眶，布满血丝的双眼死盯着屏幕，仿佛想用意念把那个“98.1%”的数字，变成图纸上的“99.99%”。
每个人的脸上，都笼罩着一种被反复失败消磨后的，混杂着不甘与茫然的死寂。
“第39次了……”一个中年研究员，声音沙哑地说道，“还是失败了。”
他们面前的检测设备屏幕上，显示着这块刚刚完成镀膜的，EUV反射镜的最终检测数据。
【表面粗糙度：0.8n
【13.5n长EUV光反射率：98.1%】
这个数据，如果放在世界上任何一个顶级的实验室，都足以让所有人起立鼓掌。_狐/恋,闻_血? ,无?错*内!容/0.8纳米的表面粗糙度，相当于在一片足球场大小的地面上，最高的凸起，不超过一粒沙子。《古言爱情小说：翠萱书苑》
这己经是人类工艺的奇迹。
但是，在“铸剑工程”那份变态到不讲道理的图纸面前，这个数据，代表着——不合格。
图纸的要求是，表面粗糙度，必须小于0.2纳米。
反射率，必须大于99.99%！
“为什么……到底是为什么？”吴承舟院士扶着实验台，感觉一阵天旋地转。
这两个月来，他和他带领的这支代表着龙国光学最高水平的团队，几乎是把家都搬到了实验室。
他们吃住都在这里，每天的睡眠时间不超过三个小时。
他们尝试了图纸上提到的“离子束抛光”、“磁流变抛光”等所有最先进的抛光工艺，终于，在前天，将镜片基底的平整度，做到了史无前例的0.15纳米。
所有人都以为，胜利就在眼前了。
然而，在最后，也是最关键的“镀膜”环节，他们却一头撞上了南墙。
EUV光刻机用的不是透镜，而是反射镜。_兰\兰_雯_血` ￠免·废¨粤^犊\因为它使用的13.5纳米波长的极紫外光，会被几乎所有物质吸收。所以，必须用特殊的反射镜，将光线一步步引导到硅片上。
这就需要在镜片表面，镀上几十层，甚至上百层，由“钼”和“硅”两种不同材料交替组成的，每一层都只有几纳米厚度的特殊膜层。
只有这样，利用光的干涉原理，才能将反射率，奇迹般地提升到极限。
理论很简单，但做起来，难如登天。
“老师……”一个博士生声音干涩地开口，带着一丝不解和恳求，“我们的真空溅射设备，己经是国内最顶级的了，真空度10的负9次方帕，靶材纯度6N……所有参数都拉满了，按理说，这己经是我们能做到的极限了。
可为什么……为什么镀出来的膜层，总有那些鬼魅一样的原子缺陷？
吴承舟院士痛苦地闭上了眼睛。
他知道问题出在哪里。
图纸上，对于镀膜工艺，只提到了一个关键性的词——“原子级可控沉积”。
但如何实现“原子级可控”，图纸上却没有详细说明。
这就好比一本绝世武功秘籍，告诉你最高心法是“人剑合一”，却没教你具体该怎么练。
这两个月，他们试了所有能想到的办法，调整了上千次参数，但镀出来的膜层，在原子尺度下，依然是“粗糙”的，像是一片铺得不够平整的沙地。
那些随机分布的原子“凸起”和“凹陷”，成为了光的散射点，无情地吞噬着那宝贵的百分之一点几的反射率。
“也许……也许这个技术，真的超越了我们这个时代的物理学极限……”一个研究员绝望地喃喃自语。
这句话，像一根针，深深地刺痛了吴承舟的心。
他搞了一辈子光学，从不信有什么极限。
但这一次，他真的感到了前所未有的无力。
他知道，全国的“铸剑工程”，都在等他们。如果他们这块最后的硬骨头啃不下来，那之前所有人的努力，都将付诸东流。
巨大的压力，像山一样，压得他几乎喘不过气来。
“不行……我们不能放弃……”吴承舟睁开布满血丝的眼睛，眼神中透着一股不屈的执拗。
他走到操作台前，颤抖着手，登录了“祝融”协同平台。
在平台的最高权限申请列表里，他犹豫了很久，最终，还是郑重地敲下了一行字。
【长春光机所，光学系统项目组，为攻克‘原子级可控沉积’技术瓶颈，请求与‘薪火计划’总设计师林宇同志，进行一次紧急技术会商。】
他知道，这个请求，意味着承认自己的失败。
他知道，这个请求一旦发出，就等于他吴承舟，这位搞了一辈子光学、带出无数英才的龙国院士，在全国同僚面前，亲口承认了自己的无能为力。
几十年的骄傲和尊严，在这一刻仿佛成了最沉重的枷锁。
但他更知道，现在不是顾及个人颜面的时候，他眼前浮现的，是“铸剑工程”启动会上，所有科研人员立下的军令状。
为了国家的这把“光刻之剑”，个人的荣辱又算得了什么？他愿意放下自己的一切，去向那个传说中的年轻人，虚心求教。
申请，被提交了上去。
‘发送成功’的提示框在屏幕上一闪而过，却仿佛抽走了吴承舟全身的力气。整个实验室里，落针可闻。
他身后的学生们，那些早己是领域中坚的学者，此刻看着老师佝偻而倔强的背影，眼神从最初的惊愕，逐渐化为了深深的敬佩与酸楚。
他们屏住呼吸，目光汇聚在那一方小小的屏幕上，这不再仅仅是等待一个技术问题的答案，更是在等待对他们老师这份沉重付出的，最终回应。
时间，在这一刻变得无比漫长。
气氛，凝重得几乎能滴出水来。
一位头发全白，戴着老花镜，年逾七旬的老人，正死死地盯着面前的一块首径约半米的，看起来平平无奇的“玻璃饼”。
他就是龙国光学界的泰斗，华夏科学院院士，吴承舟。
他身后，站着他最得意的几个学生，如今都己经是国内光学领域的中坚力量。
但此刻，有人死死攥着拳头，指节因为用力而发白；有人则摘下眼镜，用指关节用力按压着刺痛的眼眶，布满血丝的双眼死盯着屏幕，仿佛想用意念把那个“98.1%”的数字，变成图纸上的“99.99%”。
每个人的脸上，都笼罩着一种被反复失败消磨后的，混杂着不甘与茫然的死寂。
“第39次了……”一个中年研究员，声音沙哑地说道，“还是失败了。”
他们面前的检测设备屏幕上，显示着这块刚刚完成镀膜的，EUV反射镜的最终检测数据。
【表面粗糙度：0.8n
【13.5n长EUV光反射率：98.1%】
这个数据，如果放在世界上任何一个顶级的实验室，都足以让所有人起立鼓掌。_狐/恋,闻_血? ,无?错*内!容/0.8纳米的表面粗糙度，相当于在一片足球场大小的地面上，最高的凸起，不超过一粒沙子。《古言爱情小说：翠萱书苑》
这己经是人类工艺的奇迹。
但是，在“铸剑工程”那份变态到不讲道理的图纸面前，这个数据，代表着——不合格。
图纸的要求是，表面粗糙度，必须小于0.2纳米。
反射率，必须大于99.99%！
“为什么……到底是为什么？”吴承舟院士扶着实验台，感觉一阵天旋地转。
这两个月来，他和他带领的这支代表着龙国光学最高水平的团队，几乎是把家都搬到了实验室。
他们吃住都在这里，每天的睡眠时间不超过三个小时。
他们尝试了图纸上提到的“离子束抛光”、“磁流变抛光”等所有最先进的抛光工艺，终于，在前天，将镜片基底的平整度，做到了史无前例的0.15纳米。
所有人都以为，胜利就在眼前了。
然而，在最后，也是最关键的“镀膜”环节，他们却一头撞上了南墙。
EUV光刻机用的不是透镜，而是反射镜。_兰\兰_雯_血` ￠免·废¨粤^犊\因为它使用的13.5纳米波长的极紫外光，会被几乎所有物质吸收。所以，必须用特殊的反射镜，将光线一步步引导到硅片上。
这就需要在镜片表面，镀上几十层，甚至上百层，由“钼”和“硅”两种不同材料交替组成的，每一层都只有几纳米厚度的特殊膜层。
只有这样，利用光的干涉原理，才能将反射率，奇迹般地提升到极限。
理论很简单，但做起来，难如登天。
“老师……”一个博士生声音干涩地开口，带着一丝不解和恳求，“我们的真空溅射设备，己经是国内最顶级的了，真空度10的负9次方帕，靶材纯度6N……所有参数都拉满了，按理说，这己经是我们能做到的极限了。
可为什么……为什么镀出来的膜层，总有那些鬼魅一样的原子缺陷？
吴承舟院士痛苦地闭上了眼睛。
他知道问题出在哪里。
图纸上，对于镀膜工艺，只提到了一个关键性的词——“原子级可控沉积”。
但如何实现“原子级可控”，图纸上却没有详细说明。
这就好比一本绝世武功秘籍，告诉你最高心法是“人剑合一”，却没教你具体该怎么练。
这两个月，他们试了所有能想到的办法，调整了上千次参数，但镀出来的膜层，在原子尺度下，依然是“粗糙”的，像是一片铺得不够平整的沙地。
那些随机分布的原子“凸起”和“凹陷”，成为了光的散射点，无情地吞噬着那宝贵的百分之一点几的反射率。
“也许……也许这个技术，真的超越了我们这个时代的物理学极限……”一个研究员绝望地喃喃自语。
这句话，像一根针，深深地刺痛了吴承舟的心。
他搞了一辈子光学，从不信有什么极限。
但这一次，他真的感到了前所未有的无力。
他知道，全国的“铸剑工程”，都在等他们。如果他们这块最后的硬骨头啃不下来，那之前所有人的努力，都将付诸东流。
巨大的压力，像山一样，压得他几乎喘不过气来。
“不行……我们不能放弃……”吴承舟睁开布满血丝的眼睛，眼神中透着一股不屈的执拗。
他走到操作台前，颤抖着手，登录了“祝融”协同平台。
在平台的最高权限申请列表里，他犹豫了很久，最终，还是郑重地敲下了一行字。
【长春光机所，光学系统项目组，为攻克‘原子级可控沉积’技术瓶颈，请求与‘薪火计划’总设计师林宇同志，进行一次紧急技术会商。】
他知道，这个请求，意味着承认自己的失败。
他知道，这个请求一旦发出，就等于他吴承舟，这位搞了一辈子光学、带出无数英才的龙国院士，在全国同僚面前，亲口承认了自己的无能为力。
几十年的骄傲和尊严，在这一刻仿佛成了最沉重的枷锁。
但他更知道，现在不是顾及个人颜面的时候，他眼前浮现的，是“铸剑工程”启动会上，所有科研人员立下的军令状。
为了国家的这把“光刻之剑”，个人的荣辱又算得了什么？他愿意放下自己的一切，去向那个传说中的年轻人，虚心求教。
申请，被提交了上去。
‘发送成功’的提示框在屏幕上一闪而过，却仿佛抽走了吴承舟全身的力气。整个实验室里，落针可闻。
他身后的学生们，那些早己是领域中坚的学者，此刻看着老师佝偻而倔强的背影，眼神从最初的惊愕，逐渐化为了深深的敬佩与酸楚。
他们屏住呼吸，目光汇聚在那一方小小的屏幕上，这不再仅仅是等待一个技术问题的答案，更是在等待对他们老师这份沉重付出的，最终回应。
时间，在这一刻变得无比漫长。