第69章:我们成功了! 【99.993%】
工艺实验组的气氛最为压抑。(战争史诗巨著:远天文学)`天/禧`晓^说!蛧_ ¢已+发^布?最/芯′蟑^劫′
当第58号镜片基底,在镀到第99层膜时,因为一次皮秒级的溅射能量微小抖动,导致整个膜层应力崩溃,发出一声清脆的“咔嚓”声,在基底上留下了一道微不可查、却又致命的裂痕。
操作台前,负责溅射能量控制的博士生周毅,一个一米八的汉-子,死死盯着屏幕上那道裂痕,身体晃了晃,最终还是没撑住,瞬间蹲在地上,双手死死地抓着头发,肩膀无声地耸动。
这是他亲手负责的第十二块镜片,也是失败的第十二块。
又失败了。
这片价值数百万的特种石英基底,就这么变成了一文不值的废品。
吴承舟院士默默地走上前,戴上手套,小心翼翼地将那片报废的镜片取了出来。他没有看那个崩溃的年轻人,而是将镜片举到灯光下,仿佛在欣赏一件艺术品。
冰冷的镜片,反射着他布满血丝的眼睛,也反射着他身后,那一张张同样疲惫、沮丧,却又倔强地不肯离开的脸。
他轻轻放下镜片,拍了拍年轻研究员的肩膀,声音不大,却异常沉稳:
“清理一下,准备59号基底。”
“把刚才的失败参数,每一个细节,都给我记下来。这些碎裂声不是失败的哀嚎,而是我们修正错误航向时,最精准的导航信标!”
他的话语,没有安慰,却比任何安慰都更有力量。+齐!盛?晓`税~网! `更^薪~嶵-全¢团队里的每一个人,都重新挺首了脊梁。【科幻战争史诗:浴兰文学】
一个年轻的博士,因为连续七十二小时没有合眼,在查看数据时,一头栽倒在控制台前。
一个负责设备调试的工程师,因为一个焊接点的微小失误,导致整个真空系统泄露,懊恼地用头去撞墙。
就连吴承舟院士,这个团队的精神支柱,也因为心力交瘁,高血压复发,被强制要求休息了半天。
但没有人退缩。
因为他们所有人的心中,都憋着一股劲。一股被点燃了希望,就绝不容许它再次熄灭的,倔强的劲。
终于,在第十六天的凌晨。
当数学模型迭代了上万次,设备改造完成了最终调试,工艺流程也经过了上百次失败的验证后。
吴承舟院士,颤抖着手,将最后一块,也是承载着所有人希望的,完美无瑕的镜片基底,放入了那台脱胎换骨的,如同钢铁巨兽般的镀膜机中。
他回头,看向跟了他二十年的助手老张,老张的眼里同样布满血丝,但眼神却无比坚定。
吴承舟深吸一口气,像是用尽了全身的力气,一字一顿地命令道:“执行……最终方案。¢E.Z.小′税!枉? -免,肺/阅¨独~”
“是,院士!”助手的手在控制台上停顿了一瞬,随即重重点下。
实验室里,所有人都屏住了呼吸,死死地盯着控制屏幕。
“真空系统,正常。”
“分子泵,正常。”
“扫描隧道显微镜,启动。”
“量子反馈控制系统,在线。”
……
随着一道道指令的下达,镀膜机开始运转。
这一次,屏幕上显示的数据流,与以往完全不同。
代表膜层表面原子形貌的3D图像,在实时地生成。而另一边,代表等离子体源状态的参数,则在以一种人眼无法捕捉的速度,疯狂地跳动、修正。
就像一个技艺最高超的画师,在用原子,一笔一划地,绘制一幅看不见的,却又精妙绝伦的画作。
时间,一分一秒地过去。
第一层……
第十层……
第五十层……
当第一百一十八层,也就是最后一层膜,沉积完成的那一刻。
整个实验室,落针可闻。
吴承舟院士戴上厚厚的隔热手套,亲自打开了腔室的门,小心翼翼地,将那块仿佛凝聚了整个宇宙星光的反射镜,取了出来。
从外观上看,它和之前的失败品,并没有太大的区别。
但所有人都知道,真正的审判,在检测设备上。
“上……上原子力显微镜!”吴承舟的声音,都在发抖。
样品被固定好。
所有人都围在了显微镜的显示屏前,心脏提到了嗓子眼。
随着探针的缓缓扫过,一幅平滑到令人窒息的,原子级的表面图像,展现在了众人面前。
那些曾经如同噩梦般的,随机分布的“凸起”和“凹陷”,全都消失了!取而代-之的,是一片近乎于绝对零度下,湖面般的,完美的平整!
负责检测的博士生死死地盯着屏幕,瞳孔骤然缩紧,他下意识地揉了揉眼睛,以为是连续熬夜出现了幻觉。
他身旁的人看到他的异样,心瞬间沉了下去:“怎么了?难道……还是不行?”
博士生没有回答,而是猛地凑到屏幕前,仿佛要钻进去一般,几秒钟后,他豁然抬头,脸上是一种混杂着癫狂与喜悦的扭曲表情,用尽全身力气,嘶吼了出来:
“表面粗糙度……RMS值……0.11纳米!!是0.11纳米!!”
0.11纳米!
这个数字,己经超越了图纸上0.2纳米的要求,达到了一个匪夷所思的,人类工艺前所未有的,极限!
“成功了……我们成功了!!”
“天呐!我们真的做到了!”
压抑了半个月的情绪,在这一刻,轰然爆发!整个实验室,瞬间变成了欢乐的海洋。人们拥抱,欢呼,跳跃,许多人,都流下了激动的泪水。
“别……别急!”吴承舟院士强行按捺住自己狂跳的心脏,大声喊道,“还有……还有反射率测试!”
这才是最后的,也最关键的,终极考验!
样品被迅速转移到了另一台,专门用于测试EUV光反射率的,庞大而复杂的设备中。
一束标准的13.5纳米波长的EUV光,被发射出去,照射在镜片表面。
另一端的探测器,开始收集反射回来的光子数量。
所有人的目光,都死死地盯着那个代表着最终结果的,不断跳动的数字。
98.5%……
99.0%……
99.5%……
数字,还在缓慢而坚定地,向上攀升。
99.8%……
99.9%……
当数字跳到99.9%的时候,几乎所有人的心,都停止了跳动。
就差最后一点点了!
99.95%……
99.98%……
终于,在所有人的注视下,那个数字,艰难地,跳过了最后的关卡,最终,稳稳地,定格在了一个让所有人,都永生难忘的数值上。
【99.993%】
当第58号镜片基底,在镀到第99层膜时,因为一次皮秒级的溅射能量微小抖动,导致整个膜层应力崩溃,发出一声清脆的“咔嚓”声,在基底上留下了一道微不可查、却又致命的裂痕。
操作台前,负责溅射能量控制的博士生周毅,一个一米八的汉-子,死死盯着屏幕上那道裂痕,身体晃了晃,最终还是没撑住,瞬间蹲在地上,双手死死地抓着头发,肩膀无声地耸动。
这是他亲手负责的第十二块镜片,也是失败的第十二块。
又失败了。
这片价值数百万的特种石英基底,就这么变成了一文不值的废品。
吴承舟院士默默地走上前,戴上手套,小心翼翼地将那片报废的镜片取了出来。他没有看那个崩溃的年轻人,而是将镜片举到灯光下,仿佛在欣赏一件艺术品。
冰冷的镜片,反射着他布满血丝的眼睛,也反射着他身后,那一张张同样疲惫、沮丧,却又倔强地不肯离开的脸。
他轻轻放下镜片,拍了拍年轻研究员的肩膀,声音不大,却异常沉稳:
“清理一下,准备59号基底。”
“把刚才的失败参数,每一个细节,都给我记下来。这些碎裂声不是失败的哀嚎,而是我们修正错误航向时,最精准的导航信标!”
他的话语,没有安慰,却比任何安慰都更有力量。+齐!盛?晓`税~网! `更^薪~嶵-全¢团队里的每一个人,都重新挺首了脊梁。【科幻战争史诗:浴兰文学】
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一个负责设备调试的工程师,因为一个焊接点的微小失误,导致整个真空系统泄露,懊恼地用头去撞墙。
就连吴承舟院士,这个团队的精神支柱,也因为心力交瘁,高血压复发,被强制要求休息了半天。
但没有人退缩。
因为他们所有人的心中,都憋着一股劲。一股被点燃了希望,就绝不容许它再次熄灭的,倔强的劲。
终于,在第十六天的凌晨。
当数学模型迭代了上万次,设备改造完成了最终调试,工艺流程也经过了上百次失败的验证后。
吴承舟院士,颤抖着手,将最后一块,也是承载着所有人希望的,完美无瑕的镜片基底,放入了那台脱胎换骨的,如同钢铁巨兽般的镀膜机中。
他回头,看向跟了他二十年的助手老张,老张的眼里同样布满血丝,但眼神却无比坚定。
吴承舟深吸一口气,像是用尽了全身的力气,一字一顿地命令道:“执行……最终方案。¢E.Z.小′税!枉? -免,肺/阅¨独~”
“是,院士!”助手的手在控制台上停顿了一瞬,随即重重点下。
实验室里,所有人都屏住了呼吸,死死地盯着控制屏幕。
“真空系统,正常。”
“分子泵,正常。”
“扫描隧道显微镜,启动。”
“量子反馈控制系统,在线。”
……
随着一道道指令的下达,镀膜机开始运转。
这一次,屏幕上显示的数据流,与以往完全不同。
代表膜层表面原子形貌的3D图像,在实时地生成。而另一边,代表等离子体源状态的参数,则在以一种人眼无法捕捉的速度,疯狂地跳动、修正。
就像一个技艺最高超的画师,在用原子,一笔一划地,绘制一幅看不见的,却又精妙绝伦的画作。
时间,一分一秒地过去。
第一层……
第十层……
第五十层……
当第一百一十八层,也就是最后一层膜,沉积完成的那一刻。
整个实验室,落针可闻。
吴承舟院士戴上厚厚的隔热手套,亲自打开了腔室的门,小心翼翼地,将那块仿佛凝聚了整个宇宙星光的反射镜,取了出来。
从外观上看,它和之前的失败品,并没有太大的区别。
但所有人都知道,真正的审判,在检测设备上。
“上……上原子力显微镜!”吴承舟的声音,都在发抖。
样品被固定好。
所有人都围在了显微镜的显示屏前,心脏提到了嗓子眼。
随着探针的缓缓扫过,一幅平滑到令人窒息的,原子级的表面图像,展现在了众人面前。
那些曾经如同噩梦般的,随机分布的“凸起”和“凹陷”,全都消失了!取而代-之的,是一片近乎于绝对零度下,湖面般的,完美的平整!
负责检测的博士生死死地盯着屏幕,瞳孔骤然缩紧,他下意识地揉了揉眼睛,以为是连续熬夜出现了幻觉。
他身旁的人看到他的异样,心瞬间沉了下去:“怎么了?难道……还是不行?”
博士生没有回答,而是猛地凑到屏幕前,仿佛要钻进去一般,几秒钟后,他豁然抬头,脸上是一种混杂着癫狂与喜悦的扭曲表情,用尽全身力气,嘶吼了出来:
“表面粗糙度……RMS值……0.11纳米!!是0.11纳米!!”
0.11纳米!
这个数字,己经超越了图纸上0.2纳米的要求,达到了一个匪夷所思的,人类工艺前所未有的,极限!
“成功了……我们成功了!!”
“天呐!我们真的做到了!”
压抑了半个月的情绪,在这一刻,轰然爆发!整个实验室,瞬间变成了欢乐的海洋。人们拥抱,欢呼,跳跃,许多人,都流下了激动的泪水。
“别……别急!”吴承舟院士强行按捺住自己狂跳的心脏,大声喊道,“还有……还有反射率测试!”
这才是最后的,也最关键的,终极考验!
样品被迅速转移到了另一台,专门用于测试EUV光反射率的,庞大而复杂的设备中。
一束标准的13.5纳米波长的EUV光,被发射出去,照射在镜片表面。
另一端的探测器,开始收集反射回来的光子数量。
所有人的目光,都死死地盯着那个代表着最终结果的,不断跳动的数字。
98.5%……
99.0%……
99.5%……
数字,还在缓慢而坚定地,向上攀升。
99.8%……
99.9%……
当数字跳到99.9%的时候,几乎所有人的心,都停止了跳动。
就差最后一点点了!
99.95%……
99.98%……
终于,在所有人的注视下,那个数字,艰难地,跳过了最后的关卡,最终,稳稳地,定格在了一个让所有人,都永生难忘的数值上。
【99.993%】